描述
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 参数 | 数值 | 单位 |
| 外型尺寸 | φ2~140 | mm |
| 外型公差 | φ<0.02mm 或 <0.04mm | mm |
| 厚度 | 0.15~10 | mm |
| 厚度公差 | ±0.01 | mm |
| 面型精度 | PV<1/4λ | — |
| 外观 | 10月20日 | — |
| 线宽精度 | <0.3 | μm |
| 位置度 | <0.03 | mm |
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